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申请/专利权人：广州安特激光技术有限公司
摘要：本发明提供一种高数值孔径F‑THETA扫描场镜及其光学系统，属于光学系统技术领域，光学系统包括：目标激光束获取子系统，用于获取目标激光束；预聚焦子系统，用于预聚焦目标激光束，确定预聚焦光束；场镜确定子系统，用于根据预聚焦光束，确定高数值孔径扫描场镜；扫描信号检测子系统，用于当预聚焦光束通过高数值孔径扫描场镜后，检测扫描信号；扫描结果确定子系统，用于根据扫描信号，确定扫描结果。本发明的一种高数值孔径F‑THETA扫描场镜及其光学系统，预聚焦目标激光束确定预聚焦光束，光束质量更高；根据预聚焦光束，确定高数值孔径扫描场镜，场镜参数的获取更适宜。基于扫描信号确定扫描结果，扫描结果更准确。
主权项：1.一种高数值孔径F-THETA扫描场镜的光学系统，其特征在于，包括：目标激光束获取子系统，用于获取激光源发出的目标激光束；预聚焦子系统，用于对目标激光束进行预聚焦，确定预聚焦光束；场镜确定子系统，用于根据预聚焦光束，确定高数值孔径F-THETA扫描场镜；扫描信号检测子系统，用于确定预聚焦光束通过高数值孔径F-THETA扫描场镜后在扫描平面的扫描过程，检测扫描过程的扫描信号；扫描结果确定子系统，用于根据扫描信号，确定扫描结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州安特激光技术有限公司 一种高数值孔径F-THETA扫描场镜及其光学系统
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