龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司
申请日：2022-05-09
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN115001414B
主分类号：H03F1/34
分类号：H03F1/34;H03F1/52;H03F3/19;H03F3/21;H03G3/30
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权;2022.09.20#实质审查的生效;2022.09.02#公开
摘要：本发明提供了一种射频电源，应用于半导体装备技术领域，射频电源包括主控模块、信号发生器、检测模块和自动增益控制模块，自动增益控制模块包括反馈控制电路、直流电源电路、功率放大电路。主控模块分别向反馈控制电路和信号发生器输入功率设定值和频率设定值；信号发生器向功率放大电路输入频率控制信号；检测模块向反馈控制电路输入前向功率值；反馈控制电路向直流电源电路输出直流电压控制信号；直流电源电路向功率放大电路输出供电电压；功率放大电路对频率控制信号进行放大，输出射频信号。该射频电源可以调节反馈控制电路的积分时间与设定功率值匹配，解决射频电源工作过程中由于设定功率值与积分时间不匹配导致的过激或响应较慢的问题。
主权项：1.一种射频电源，其特征在于，包括：主控模块、信号发生器、检测模块和自动增益控制模块；所述自动增益控制模块包括反馈控制电路、直流电源电路、功率放大电路；所述主控模块与所述反馈控制电路的第一输入端连接，并与所述信号发生器的输入端连接，用于向所述反馈控制电路输入功率设定值，并向所述信号发生器输入频率设定值；所述信号发生器的输出端与所述功率放大电路的频率输入端连接，用于向所述功率放大电路输入与所述频率设定值对应的频率控制信号；所述检测模块与所述功率放大电路的输出端连接，并与所述反馈控制电路的第二输入端连接，用于检测所述功率放大电路输出的射频信号的前向功率值，并向所述反馈控制电路输入所述前向功率值；所述反馈控制电路与所述直流电源电路连接，用于对所述前向功率值和所述功率设定值之间的偏差值进行比例放大和积分放大，得到并向所述直流电源电路输出直流电压控制信号；其中，所述反馈控制电路的积分时间可调；所述直流电源电路与所述功率放大电路的电压输入端连接，用于基于所述电压控制信号，向所述功率放大电路输出供电电压；所述功率放大电路用于基于所述供电电压，对所述频率控制信号进行放大，输出所述射频信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司 一种射频电源
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号