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申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日：2020-01-13
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN111122504B
主分类号：G01N21/41
分类号：G01N21/41
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权;2020.06.02#实质审查的生效;2020.05.08#公开
摘要：本发明属于光学检测装置技术领域，具体涉及一种基于导模共振的双条形介质光栅的液体折射率变化检测装置,所述检测装置的周期为P，包括：透明覆盖层，位于透明覆盖层下的第一导模光栅层，位于第一导模光栅层下的检测腔体层，位于检测腔体层下的第二导模光栅层以及位于第二导模光栅层下的基底层。本发明检测装置体积体积在微米数量级，非常适合应用于微小折射率变化传感，能检测到折射率变化非常微小的待检测样品，当样品的折射率发生细微变化时，两个透射峰的共振波长λ1与λ2发生移动，从而达到检测的效果以及提高检测的可靠性，折射率检测精度可以达到10‑3纳米量级。
主权项：1.基于导模共振的双条形介质光栅液体折射率变化检测装置，其特征在于：所述检测装置的周期为P，包括：透明覆盖层1，用于接近无损地传输垂直入射光，并隔离外界干扰，所述透明覆盖层1的高度为t；位于透明覆盖层1下的第一导模光栅层2，用于产生两个共振频率不同的共振波谷，所述第一导模光栅层2包括三个部分：第一条形介质光栅21，第二条形介质光栅22，第一光波导层23，所述第一条形介质光栅21的宽度为W1，所述第二条形介质光栅22的宽度为W2，第一条形介质光栅21和第二条形介质光栅22的高度均为h1，两者之间的距离为g，所述第一光波导层23的高度为h2；位于第一导模光栅层2下的检测腔体层3，厚度为101微米量级，用于容纳待检测样品；位于检测腔体层3下的第二导模光栅层4，用于产生两个共振频率与第一导模光栅层2共振频率相同的共振波谷，所述第二导模光栅层4包括三个部分：第三条形介质光栅41，第四条形介质光栅42，第二光波导层43，第二导模光栅层4与第一导模光栅层2之间的间隔距离为d；以及位于第二导模光栅层4下的基底层5，用于接近无损地传输出射光，并隔离外界干扰。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 基于导模共振的双条形介质光栅液体折射率变化检测装置
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