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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
申请日：2021-01-18
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN113219467B
主分类号：G01S15/02
分类号：G01S15/02;G01S15/10;G01S7/521
优先权：["20200121 JP 2020-007660"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权;2021.08.24#实质审查的生效;2021.08.06#公开
摘要：本发明涉及一种对超声波装置的精度下降进行抑制的超声波装置以及超声波传感器。本发明的超声波装置1具备：基板150；振动板140，其被设置在基板150上，且具有通过进行振动而生成超声波的一个以上的振动元件124，振动板140具有可动部120和固定部110，所述可动部120被设置有振动元件124且随着振动元件124的振动而进行振动，所述固定部110被固定在所述基板150上，超声波装置1以如下方式被构成，即，基于从可动部120发送并由可动部120接收的波的反射波的振动频率在振动元件124的振动频率范围之外。
主权项：1.一种超声波装置，其特征在于，具备：基板；振动板，其被设置在所述基板上，且具有通过进行振动而生成超声波的多个振动元件；加强板，其对所述基板进行加强，所述振动板被设置于所述基板与所述加强板之间，所述振动板具有可动部和固定部，所述可动部被设置有所述振动元件且随着所述振动元件的振动而进行振动，所述固定部被固定在所述基板上，在所述可动部上，在各个所述振动元件之间设置有第一壁部，在被配置于多个所述振动元件的配置中的端部处的所述振动元件的所述固定部一侧设置有第二壁部，在所述第二壁部的与所述振动元件相反一侧具有空间部，所述空间部以被所述加强板和所述振动板包围的方式而被形成，当将由伴随着所述振动元件的振动而产生的串扰所引起的所述可动部的振动的频率设为串扰振动频率时，以所述串扰振动频率变得高于所述振动元件的振动频率范围的方式，使所述空间部的体积被调节为预定的体积以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 精工爱普生株式会社 超声波装置以及超声波传感器
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