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一种芯片清洗机 

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申请/专利权人:成都华卓半导体有限公司

摘要:本实用新型公开了一种芯片清洗机,包括下机架、上机架、治具上料流水线模组、治具下料流水线模组、重氟油浸泡模组、酒精清洗模组、静电液清洗模组、治具搬运模组、风干模组以及中转槽模组。本申请提供了一种芯片清洗机,有效的将重氟油清洗、酒精清洗、静电液浸泡以及风干进行了有机的结合,有效的缩减了整体的处理流程,降低了人力资源的损耗,大大提高了芯片的清洗效率,促进了行业的发展与进步。

主权项:1.一种芯片清洗机,其特征在于,包括下机架102,设置在下机架102上侧的上机架101,设置在下机架102上侧面且分别位于下机架102左右两侧的治具上料流水线模组210和治具下料流水线模组250,设置在治具上料流水线模组210和治具下料流水线模组250之间且由治具上料流水线模组210至治具下料流水线模组250依次排列的重氟油浸泡模组220、酒精清洗模组230和静电液清洗模组240,设置在下机架102上且位于治具上料流水线模组210、重氟油浸泡模组220、酒精清洗模组230、静电液清洗模组240和治具下料流水线模组250后方的治具搬运模组260,设置在治具下料流水线模组250下方的风干模组270,以及设置在下机架102内且与重氟油浸泡模组220相连的中转槽模组280。

全文数据:

权利要求:

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