申请/专利权人:乐山市京运通新材料科技有限公司
申请日:2023-08-17
公开(公告)日:2024-06-14
公开(公告)号:CN221141949U
主分类号:C30B15/14
分类号:C30B15/14;C30B29/06
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.14#授权
摘要:本实用新型公开了一种单晶炉下部热场装配结构,包括单晶炉,在单晶炉的底部设置一层软毡,在软毡的外周面依次设置石墨圈和保温毡。在所述石墨圈的两端分别设置止口。在所述软毡和邻近软毡的石墨圈的止口上方设置底固毡,所述底固毡的底部设有与止口相适配的第一凹槽。在所述保温毡和邻近保温毡的石墨圈的止口上方设置下保温筒,所述下保温筒的底部设有与止口相适配的第二凹槽。本装配结构增强了保温性;加长了下保温筒的高度,进而进一步增加了热场保温性。使单晶炉热场保温性能升,显著降低单晶炉拉晶功率,降低拉晶成本;降低底部热场对坩埚底部的烘烤程度,减少坩埚内的氧进入到晶体中,从而间接起到降氧的作用。
主权项:1.一种单晶炉下部热场装配结构,用于单晶炉,其特征在于,在单晶炉的底部设置一层软毡(1),在软毡(1)的外周面依次设置石墨圈(2)和保温毡(4)。
全文数据:
权利要求:
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