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申请/专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日：2024-03-15
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118210093A
主分类号：G02B5/20
分类号：G02B5/20;G02B5/28;G02B1/115
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：本发明公开了一种基于全介质薄膜的可见红外超宽光谱分色片，以反短透长的方式进行分光。分色片以硒化锌晶体为基底，在其一个表面设计分色膜，以硒化锌和氟化镱、硫化锌和氟化镱作为高、低折射率介质组合成不同反射堆，用五个反射堆能实现宽带反射，优化匹配层提升近红外至长波红外的透射率。为满足空间可靠性要求，膜系设计时限制了反射堆周期数，在满足光学性能时尽量减小膜层厚度。在合适的沉积温度、沉积速率和离子辅助沉积等条件下制备分色片。根据实测反射率与透射率曲线，在0.4μm～1.06μm波段实现了高反射，1.24～13.5μm多个波段实现了高透射。本发明的分色片通过了附着力、温湿度、温度交变、浸泡等环境试验，适用于多通道成像系统中光谱分光。
主权项：1.一种基于全介质薄膜的可见红外超宽光谱分色片，其特征在于，所述分色片的结构为在硒化锌基底2前表面制备具有光谱分光功能的分色膜1、在硒化锌基底2后表面制备宽光谱减反射膜3，所述分色膜1的膜系结构为：基底W10.76N1.52L0.76N70.66N1.32L0.66N70.5N1.0L0.5N60.42B0.84L0.42Ba0.35B0.7L0.35BbW2空气其中，W1为前匹配层，其结构为：k1Nk2Lk3N，W2为后匹配层，其结构为：p1Bp2Lp3B，其中：指数a和b是反射堆周期数，取值7或6；N表示光学厚度为λ04的硒化锌膜层，B表示光学厚度为λ04的硫化锌膜层，L表示光学厚度为λ04的氟化镱膜层，λ0为中心波长，k1、k2、k3、p1、p2、p3为匹配层光学厚度系数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海技术物理研究所 一种基于全介质薄膜的可见红外超宽光谱分色片
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