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申请/专利权人：江苏弘扬石英制品有限公司

摘要：本发明适用于检测设备技术领域，尤其涉及一种石英圆环片表面光洁度的快速检测装置，所述装置包括：底座，底座上安装有原子力显微设备和图像处理设备，包括显微探头和第一图像采集装置，底座上安装有两组支架，支架上安装有第二伸缩缸，所述第二伸缩缸端部安装有两组定位杆；工件控制机构，所述工件控制机构包括第二图像采集装置，工件控制机构用于识别工件的位置，并控制工件进行转动和移动，配合原子力显微设备和图像处理设备完成光洁度检测。本发明能够自动完成对石英圆环片的自动定位，通过控制石英圆环片进行转动移动，使得显微探头和第一图像采集装置能够对石英圆环片进行螺旋式检测，大大提高了采样效果，提高了检测效率。

主权项：1.一种石英圆环片表面光洁度的快速检测装置，其特征在于，所述装置包括：底座1，所述底座1上安装有原子力显微设备2和图像处理设备3，所述原子力显微设备2包括显微探头4，所述图像处理设备3包括第一图像采集装置5，所述底座1上安装有两组支架6，所述支架6上安装有第二伸缩缸10，所述第二伸缩缸10端部安装有两组定位杆13；工件控制机构，所述工件控制机构包括第二图像采集装置12，工件控制机构用于识别工件的位置，并控制工件进行转动和移动，配合原子力显微设备2和图像处理设备3完成光洁度检测；所述工件控制机构包括滑块7，底座1上转动设置有一组螺纹杆，底座1上还固定设置有一组导杆16，所述滑块7与螺纹杆通过螺纹连接，滑块7上设置有通孔，导杆16滑动设置在通孔内，底座1内设置有动力电机，所述动力电机用于驱动螺纹杆转动，底座1上设置有多组第一伸缩缸8，所述第一伸缩缸8的伸缩端通过过渡板连接有旋转电机9，所述旋转电机9上连接有安装座11，安装座11上设置有多组负压吸附环，第二图像采集装置12设置在安装座11上，所述负压吸附环均布设置在第二图像采集装置12的周围；所述显微探头4通过第三伸缩缸14与原子力显微设备2连接，所述第一图像采集装置5通过第四伸缩缸15与图像处理设备3连接；所述第一图像采集装置5的工作过程为：实时进行图像采集，得到第一实时采集图像；对第一实时采集图像进行图像处理，统计图像中各个灰度值对应的像素数量；提取第一实时采集图像的图像参数，计算污染像素占比，基于污染像素占比判定石英圆环片的清洁度是否满足要求。

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