申请/专利权人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

申请日：2024-02-02

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN117686593B

主分类号：G01N29/22

分类号：G01N29/22;G01N29/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.18#授权;2024.03.29#实质审查的生效;2024.03.12#公开

摘要：本申请涉及一种集成电路载具及集成电路声扫检测装置，集成电路载具包括基座和载板，载板具有用于承载集成电路的承载面，承载面上设有多个抽水孔，且载板上设有与抽水孔连通的进水通道，其中，承载面上的集成电路覆盖至少部分抽水孔。本申请通过在载板的承载面上开设多个抽水孔，以使位于载板的承载面上的集成电路表面的各个气泡均能够随着水流从抽水孔内抽出，从而对集成电路上各处的气泡进行去除，具有去除范围广，去除效果好，多个抽水孔同时抽水，能够同时去气泡，提高了去气泡的效率的优点。

主权项：1.一种集成电路声扫检测装置，其特征在于，所述集成电路声扫检测装置包括壳体、集成电路载具和声扫探头，壳体形成一用于容纳水溶液的容置腔，集成电路载具设于该容置腔内，用于承载集成电路，声扫探头朝向集成电路以对集成电路进行检测，通过集成电路载具达到去除检测时的集成电路表面的气泡的效果；所述集成电路载具包括：基座；设于基座上的载板，载板具有用于承载集成电路的承载面，集成电路放入水溶液中时放置于载板的承载面上，所述承载面上设有多个抽水孔，且所述载板上设有与所述抽水孔连通的进水通道；所述承载面开设有多个抽水孔阵列，所述抽水孔阵列包括沿第一方向和第二方向呈阵列排布的多个所述抽水孔，其中，所述第一方向和所述第二方向彼此相交；其中，所述承载面上的所述集成电路覆盖至少部分所述抽水孔；所述载板包括第一面板、第一间隔板以及多个第二间隔板，所述承载面设于所述第一面板的顶部；所述第一面板内设有流道槽，承载面设于第一面板背离流道槽的一侧，所述第一间隔板和多个所述第二间隔板设于所述流道槽内，且将所述流道槽分隔为多个所述进水通道；多个第二间隔板沿第一方向间隔设置，且第二间隔板沿第二方向延伸，第一间隔板沿第一方向延伸，且分别与多个第二间隔板呈交叉设置，从而将流道槽分隔为多个进水通道；多个抽水孔阵列和多个进水通道一一对应，则对应的抽水孔阵列的抽水孔内抽出的气泡能够进入对应的进水通道内；所述第一面板设有与所述进水通道一一对应的多个出水口道；所述出水口道穿设于所述流道槽的侧壁，且连通于对应的所述进水通道，抽入对应的进水通道内的水流和气泡通过设于第一面板的流道槽的侧壁的出水口道流出，从而使得流道槽内的水流和气泡能够及时排出，以不断地从抽水孔处抽入水流和设于第一面板背离流道槽的一侧的集成电路表面的气泡；第一间隔板和多个第二间隔板分隔的多个进水通道沿第二方向相对第一间隔板对称布设，流道槽沿第二方向的两侧壁均设有出水口道，以连通与其对应的进水通道，第一间隔板沿第二方向开设有通孔，以使得进入沿第二方向相邻的两个进水通道的水流和气泡能够通过第一间隔板的通孔在上述相邻的两个进水通道中流通，从而提高进入进水通道内的水流和气泡的稳定性；所述集成电路载具还包括连接管路和设于所述连接管路上的水泵，所述出水口道远离所述进水通道的一端连接于所述连接管路，以使所述水泵能够将水流通过所述出水口道泵向所述进水通道；所述载板还包括设于所述第一面板背离所述承载面的一侧的第二面板，第二面板和第一面板层叠设置，且第二面板和第一面板之间密封设置，以使得第二面板和第一面板之间能够形成开口密封的流道槽；相邻两个所述抽水孔的中心之间的距离x满足以下条件：x≤，或者x≤；其中，当所述集成电路的顶面为正方形时，a为所述集成电路的边长；当所述集成电路的顶面为矩形时，b为所述集成电路较短边的边长；d为所述抽水孔的直径。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) 集成电路载具及集成电路声扫检测装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD