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申请/专利权人：上海拜安传感技术有限公司
摘要：本发明涉及一种MEMS光纤悬臂式称重传感器及称重模块，属于称重测量技术领域。所述MEMS光纤悬臂式称重传感器用于测量被测物体的重量或施力，具有悬臂梁，所述悬臂梁的内部具有容纳腔，所述悬臂梁的一端处于固定位置，另一端处于加载位置，被测物体被放置在加载位置的一端；所述容纳腔包括至少四个连接的面，设置在容纳腔内的第一面的至少一个闪耀光栅和设置在容纳腔内的第二面的至少一个准直器，所述第一面与第二面为容纳腔中相邻的两个面；且至少一个准直器与至少一个闪耀光栅处于同一竖直的平面内。本申请的MEMS光纤悬臂式称重传感器，提高了被测物体称重时测量的精度，延长了称重传感器的使用周期。
主权项：1.一种MEMS光纤悬臂式称重传感器，用于测量被测物体的重量或施力，具有悬臂梁，所述悬臂梁的内部具有容纳腔，所述悬臂梁的一端处于固定位置，另一端处于加载位置，被测物体被放置在加载位置的一端；其特征在于，所述容纳腔包括至少四个连接的面，设置在容纳腔内的第一面的至少一个闪耀光栅和设置在容纳腔内的第二面的至少一个准直器，所述第一面与第二面为容纳腔中相邻的两个面；且至少一个准直器与至少一个闪耀光栅处于同一竖直的平面内，通过测量所述容纳腔的相邻两个面产生对应的角度变化，计算被测物体重量或施力；所述悬臂梁的固定位置和加载位置分别位于所述容纳腔的两侧;所述容纳腔的不同面的连接处形成多个角点，所述容纳腔内对称分布有4个角点，4个角点处设有结构强度薄弱的变形结构，将容纳腔分割为等效的平行四边形结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海拜安传感技术有限公司 一种MEMS光纤悬臂式称重传感器及称重模块
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