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申请/专利权人：村田机械株式会社
申请日：2021-01-19
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN115175867B
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;B65G1/14;H01L21/673
优先权：["20200305 JP 2020-037929"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权;2022.10.28#实质审查的生效;2022.10.11#公开
摘要：保管架1具备：主体框10；多个架模块40，该架模块具有能够装拆地设于主体框10的基座板41和安装于基座板41的供给喷嘴51；主配管61，该主配管供从供给源供给的吹扫气体流通；以及第一分支部62，该第一分支部设于主配管61并从主配管61分支出流路，在架模块40中，设有调整对供给喷嘴51供给的吹扫气体的流量的流量控制装置55，在第一分支部62，经由使流路开闭的开闭阀64连接有模块配管63，流量控制装置55与模块配管63连接。
主权项：1.一种保管架，具备：主体框；多个架模块，该架模块具有能够装拆地设于所述主体框的基座板和设于所述基座板的供给喷嘴；主配管，该主配管供从供给源供给的吹扫气体流通；以及第一分支部，该第一分支部设于所述主配管并从所述主配管分支出流路，在所述架模块设有调整对所述供给喷嘴供给的所述吹扫气体的流量的流量控制装置，在所述第一分支部，经由使流路开闭的开闭阀连接有模块配管，在所述模块配管，经由所述流量控制装置连接有所述供给喷嘴，所述供给喷嘴经由所述开闭阀及所述流量控制装置与所述主配管连接，所述模块配管相对于所述开闭阀装拆自如地设置，在所述架模块设有多个所述供给喷嘴和与多个所述供给喷嘴分别对应的多个所述流量控制装置，在所述模块配管设有多个第二分支部，对于所述多个第二分支部的各个第二分支部，能够装拆地设有与对应的所述流量控制装置连接的第三配管。
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