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申请/专利权人：苏州鑫睿微电子设备有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及晶圆金属含量分析检测辅助装置。其技术方案包括：立箱、侧箱和第二夹持辊，侧箱的内部转动安装有贯穿立箱双向丝杆，双向丝杆外侧螺纹安装有两组丝套，且一组丝套正面固定安装有夹持座，夹持座内部嵌入安装有压力传感器，夹持座一侧通过连接杆与连接孔配合安装有连接座，连接座正面转动安装有第一夹持辊。本实用新型通过压力传感器实时监测第一夹持辊对晶圆本体夹持力度，并将监测电信号传递至控制器进行计算，当控制器计算出压力传感器检测压力值达到设定值时，控制器控制伺服电机停止运行，增加了精准控制夹持力度的功能，提升了辅助检测晶圆本体的安全。
主权项：1.晶圆金属含量分析检测辅助装置，包括立箱1、侧箱3和第二夹持辊8，其特征在于：所述立箱1内部转动安装有延伸出的升降调节机构2，且升降调节机构2包括升降丝杆202，所述升降丝杆202的底端通过转轴安装有安装套203，所述安装套203一侧固定安装有驱动电机601，所述驱动电机601输出端固定安装有升降辊6，所述立箱1两侧固定安装有侧箱3，所述侧箱3的内部转动安装有贯穿立箱1双向丝杆301，所述双向丝杆301外侧螺纹安装有两组丝套304，且一组丝套304正面固定安装有夹持座4，所述夹持座4内部嵌入安装有压力传感器401，所述夹持座4一侧通过连接杆402与连接孔502配合安装有连接座501，所述连接座501正面转动安装有第一夹持辊5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州鑫睿微电子设备有限公司 晶圆金属含量分析检测辅助装置
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