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申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司
申请日：2023-11-20
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221166725U
主分类号：C23C14/50
分类号：C23C14/50;H01J37/32;C23C14/54;C23C14/52;C23C14/24;C23C16/458;C23C16/52
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本实用新型涉及真空镀膜等真空加工技术领域，尤其涉及一种基板装载机构和真空加工装置，其包括安装部，所述安装部用于将所述基板设置于基板加工腔；基板装载部，所述基板装载部用于装载所述基板，所述基板装载部与所述安装部转动连接；第一旋转传动部，所述第一旋转传动部用于驱动所述基板装载部相对于所述安装部旋转，且所述第一旋转传动部的动力输入端与动力输出端的传动比为N：1，其中，N为大于1的正整数；角度测量部，所述角度测量部用于测量所述基板装载部的旋转角度，所述角度测量部的至少部分连接所述旋转传动部。本实用新型能够实现安装臂与旋转臂角度高精度调节，从而保证晶圆的加工精度。
主权项：1.基板装载机构，其特征在于，包括：安装部，所述安装部用于将所述基板设置于基板加工腔；基板装载部，所述基板装载部用于装载所述基板，所述基板装载部与所述安装部转动连接；第一旋转传动部3，所述第一旋转传动部3用于驱动所述基板装载部相对于所述安装部旋转，且所述第一旋转传动部3的动力输入端与动力输出端的传动比为N：1，其中，N为大于1的正整数；角度测量部，所述角度测量部用于测量所述基板装载部的旋转角度，所述角度测量部的至少部分连接所述旋转传动部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光驰科技(上海)有限公司 基板装载机构和真空加工装置
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