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申请/专利权人：江苏容道社半导体设备科技有限公司
申请日：2023-12-01
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221175239U
主分类号：G03F7/30
分类号：G03F7/30;G03F7/40;B08B1/12
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种集束式匀胶显影设备，该均胶显影设备旨在解决现有技术下集束式匀胶显影设备，结构复杂，且装置的工作效率低下，降低了装置的实用性能，不能很好的满足人们的使用需求的技术问题；该均胶显影设备包括设备主体，所述设备主体正面开设有进料口，所述设备主体的内部且位于进料口相对应的位置处设有进料辊，所述设备主体的内部且位于进料辊的后方设有清洁机构，所述设备主体的内部且位于清洁机构的后方设有储料箱，所述设备主体的内部且位于储料箱的后方设有烘干室，所述烘干室的正面设有压料机构，与现有的显影设备相比较，本实用新型通过设计提高了显影设备整体的实用性。
主权项：1.一种集束式匀胶显影设备，包括设备主体1，其特征在于：所述设备主体1正面开设有进料口2，所述设备主体1的内部且位于进料口2相对应的位置处设有进料辊3，所述设备主体1的内部且位于进料辊3的后方设有清洁机构4，所述设备主体1的内部且位于清洁机构4的后方设有储料箱5，所述设备主体1的内部且位于储料箱5的后方设有烘干室6，所述烘干室6的正面设有压料机构7，所述设备主体1的内部且位于烘干室6的后方设有出料辊8，所述设备主体1的背面且位于出料辊8相对应的位置处开设有出料口9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏容道社半导体设备科技有限公司 一种集束式匀胶显影设备
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