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申请/专利权人：上海普达特半导体设备有限公司
申请日：2023-10-31
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221157947U
主分类号：B08B9/032
分类号：B08B9/032
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本申请提供一种阀门和管路预清洗系统，包括溶液槽、主管路和若干条分支管路。其中，溶液槽包括加液端、出液端和回液端；以出液端的液体流向定义上游端和下游端。主管路上游端与出液端连通；主管路的上游端至下游端之间设置有循环泵、单向阀和干燥阀；单向阀由主管路上游端至下游端单向导通，干燥阀用于通入干燥气体。每条分支管路的上游端与主管路的下游端连接，每条分支管路的下游端与回液端连接；每条分支管路上设置有待清洗阀门安装部和待清洗管段安装部。本申请的技术方案能够对待使用的阀门和管路进行预清洗，从而尽可能消除污染，进而提高所应用阀门和管路的半导体设备的合格率。
主权项：1.一种阀门和管路预清洗系统，其特征在于，包括：溶液槽10，包括加液端11、出液端12和回液端13；以所述出液端12的液体流向定义上游端和下游端；主管路20，其上游端与所述出液端12连通；所述主管路20的上游端至下游端之间设置有循环泵21、单向阀22和干燥阀23；所述单向阀22由所述主管路20上游端至下游端单向导通，所述干燥阀23用于通入干燥气体；若干条分支管路30，每条所述分支管路30的上游端与所述主管路20的下游端连接，每条所述分支管路30的下游端与所述回液端13连接；每条所述分支管路30上设置有待清洗阀门安装部31和待清洗管段安装部32。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海普达特半导体设备有限公司 阀门和管路预清洗系统
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