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一种具有自锁机构的MEMS探针 

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申请/专利权人:沈阳圣仁电子科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种具有自锁机构的MEMS探针,包括针体和电路板,所述针体的侧壁安装有梯形卡块,所述电路板上开设有针体插槽,所述针体插槽的侧壁开设有滑槽,所述滑槽的侧壁开设有卡槽,所述梯形卡块的外侧设有弧形突起,且卡槽与弧形突起相配合。通过设置支臂,使得整个MEMS探针更有弹性,更容易恢复到初始的状态,以便进行下一次的芯片触点测试。并通过设置若干处空槽,增加了整个装置的弹性,使得起在接触芯片触点后更加容易恢复原型。通过设置针体上空心的梯形装卡结构,以及其上的弧形突起,使得整个针体能够轻松的完成与电路板的装配。

主权项:1.一种具有自锁机构的MEMS探针,其特征在于:包括针体1和电路板4,所述针体1的侧壁安装有梯形卡块3,所述电路板4上开设有针体插槽5,所述针体插槽5的侧壁开设有滑槽6,所述滑槽6的侧壁开设有卡槽7,所述梯形卡块3的外侧设有弧形突起8,且卡槽7与弧形突起8相配合。

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