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申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司
摘要：本实用新型提供了一种刻蚀机台上电极装卸用的辅助装置，该辅助装置包括：可移动的支架以及活动地安装于所述支架上且可升降调节的承托座，所述承托座用于承托所述上电极的承托件，以辅助所述上电极的装卸。本实用新型利用所述支架上的承托座承托带有上电极的承托件，方便工程师安装或拆卸承托件的螺丝，通过移动支架可实现对所述上电极的水平移动，通过升降调节所述承托座，可实现对所述上电极的竖向移动，本实用新型只需要一位工程师即可完成对上电极的安装和拆卸，无需人力手动承托，更加省力和方便，提高了上电极的装卸效率。
主权项：1.一种刻蚀机台上电极装卸用的辅助装置，其特征在于，包括：可移动的支架以及活动地安装于所述支架上且可升降调节的承托座，所述承托座用于承托所述上电极的承托件，以辅助所述上电极的装卸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 刻蚀机台上电极装卸用的辅助装置
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