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申请/专利权人：憬承光电科技(厦门)有限公司
摘要：本发明公开了一种SMIF晶圆卡匣自动开盖扫描模组，包括电控元器件安装箱、扫码层数感应器、外罩导向柱、智能标签阅读器、安装板、料盒开盖检测器、盖子限位块、挡板、固定板、滑轨、丝杆、伺服电机、同步带、底板、外罩、观察窗、顶板、侧罩、顶盖、连接块、支撑块、放置板、支撑柱、内罩、放置台和滑座，所述固定板的一侧底端固定连接有电控元器件安装箱，固定板的一侧位于电控元器件安装箱的顶端固定连接有放置台；该装置，通过伺服电机的工作带动丝杆的转动的，进而带动安装板的移动，从而带动外罩的自动升降工作，无需工作人员操作外罩，改变了以往的操作方式，不仅提高了扫描效率，同时还降低了工作人员的劳动强度。
主权项：1.一种SMIF晶圆卡匣自动开盖扫描模组，包括扫码层数感应器2、外罩导向柱3、智能标签阅读器4、料盒开盖检测器6、盖子限位块7、挡板8、固定板9、丝杆11、同步带13、底板14、外罩17、观察窗18和顶盖21，其特征在于：所述固定板9的一侧底端固定连接有电控元器件安装箱1，固定板9的一侧位于电控元器件安装箱1的顶端固定连接有放置台27，放置台27的顶端四角固定连接有支撑柱25的底端，支撑柱25的顶端固定连接有放置板24，放置台27的顶端边缘处固定连接有内罩26，固定板9的一侧固定连接有顶板19，顶板19固定连接在侧罩20的两端，侧罩20的内部一侧固定连接有伺服电机12，伺服电机12的输出端以及丝杆11的底端通过皮带轮以及同步带13配合连接，丝杆11通过轴承转动连接在顶板19上，且丝杆11位于侧罩20的内部，丝杆11上配合连接有滚珠螺母，且滚珠螺母固定连接在滑座28上。
全文数据：
权利要求：
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