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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：公开了一种末端执行器。示例性末端执行器包括用于在其上放置衬底的衬底支撑体；以及第一波发生器阵列，其设置在衬底支撑体中，并配置为向衬底的背面产生表面波。
主权项：1.一种用于转移衬底的末端执行器，包括：用于在其上放置衬底的衬底支撑体；以及第一波发生器阵列，其设置在衬底支撑体中，并配置为向衬底的背面产生表面波。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 末端执行器和包括末端执行器的衬底处理设备
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