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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种既避免降低生产效率，又防止因在冷却部的冷却面过度蓄积液态溶剂而导致的不良影响的减压干燥装置。一种减压干燥装置1，使涂敷于基板9的上表面的涂敷膜干燥，其中，具有：腔室10，容纳基板；支撑部20，在腔室内支撑基板；减压机构30，从腔室吸引气体，使腔室内的压力降低；以及冷却部40，对与支撑部所支撑的基板的上表面相对并大于基板9的冷却面40a进行冷却。冷却部40的冷却面40a具有：相对区域RC，在基板的厚度方向上与基板的能够形成涂敷膜90的区域AC相对；以及外侧区域RO，位于相对区域RC的外侧。冷却部40构成为外侧区域RC的温度高于相对区域的温度。
主权项：1.一种减压干燥装置，使涂敷于基板的上表面的涂敷膜干燥，其中，具有：腔室，容纳所述基板；支撑部，在所述腔室内支撑所述基板；减压机构，从所述腔室吸引气体，使所述腔室内的压力降低；以及冷却部，对与所述支撑部所支撑的所述基板的所述上表面相对并大于所述基板的冷却面进行冷却，所述冷却部的所述冷却面具有：相对区域，在所述基板的厚度方向上与所述基板的能够形成所述涂敷膜的区域相对；以及外侧区域，位于所述相对区域的外侧，所述冷却部构成为所述外侧区域的温度高于所述相对区域的温度。
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