龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：南京埃米仪器科技有限公司
摘要：本发明公开了一种压阻自感应式原子力显微镜系统，包括基体还包括粗动调节机构、微动调节机构和控制器，粗动调节机构设置在基体内，微动调节机构设置在基体上与粗动调节机构连接，控制器与设置在基体上的控制板连接，通过控制器对探针与晶圆的接触位置进行改变，控制器根据探针与晶圆接触探针变形量的反馈值，表征待检测样品的力学性能。优点，利用设置在Z扫描器中的探针安装架安装探针，更换时直接从探针安装架上进行探针的拆装，不需要光学系统，更换探针过程中不需要频繁校准激光点与探针悬臂梁背面之间位置，提高了换针效率，利用控制器接收的探针变形量的反馈值控制探针在Z方向的移动，通过探针变形的反馈值得出检测样品的力学性能表征。
主权项：1.一种压阻自感应式原子力显微镜系统，包括基体（1）其特征在于：还包括粗动调节机构（2）、微动调节机构（3）和控制器（6），粗动调节机构（2）设置在基体（1）内，所述粗动调节机构（2）对待检测的晶圆在X、Y方向进行粗调，对检测晶圆的探针在Z方向进行粗调；微动调节机构（3）设置在基体（1）上与粗动调节机构（2）连接，所述微动调节机构（3）对待检测的晶圆在X、Y方向进行微调，对检测晶圆的探针在Z方向进行微调，用于控制粗动调节机构（2）和微动调节机构（3）的控制器（6）通过导线（61）与设置在基体（1）上的控制板连接，通过所述控制器（6）对探针与晶圆的接触位置进行改变，另外控制器（6）根据探针与晶圆接触时，探针变形量的反馈值，表征待检测样品的力学性能。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京埃米仪器科技有限公司 压阻自感应式原子力显微镜系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号