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防着板表面的钼去除工艺 

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申请/专利权人:深圳仕上电子科技股份有限公司

摘要:本发明公开了一种防着板表面的钼去除工艺,包括如下步骤:提供附着有钼层的防着板;将防着板放置在烤架上,推入高温烤箱;开启高温烤箱,使得高温烤箱内的温度维持在350℃~600℃,并同时向高温烤箱内鼓入氧化性气体,充分反应使得防着板上的钼层被氧化性气体氧化成三氧化钼;反应完成后关闭高温烤箱,冷却后取出防着板;对防着板进行后处理。本发明的防着板表面的钼去除工艺通过将附着有钼层的防着板置于烤箱内350℃~600℃处理,并同时向高温烤箱内鼓入氧化性气体,从而使得防着板上的钼层被氧化性气体氧化成三氧化钼,三氧化钼会随着氧化性气体的鼓入,脱离防遮板表面,从而达到去除防着板表面的钼层的目的。

主权项:1.一种防着板表面的钼去除工艺,其特征在于,包括如下步骤:提供附着有钼层的防着板;将所述防着板放置在烤架上,推入高温烤箱;开启所述高温烤箱,使得所述高温烤箱内的温度维持在350℃~600℃,并同时向所述高温烤箱内鼓入氧化性气体,充分反应使得所述防着板上的钼层被所述氧化性气体氧化成三氧化钼;反应完成后关闭所述高温烤箱,冷却后取出所述防着板;对所述防着板进行后处理。

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权利要求:

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