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申请/专利权人：安徽禾臣新材料有限公司
申请日：2024-02-26
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118219170A
主分类号：B24B37/30
分类号：B24B37/30
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明公开了用于TFT盲孔抛光的高吸附性的吸附垫及其制备工艺，属于吸附垫技术领域。用于TFT盲孔抛光的高吸附性的吸附垫，包括从下至上依次连接的基底层、连接层和吸附层，所述吸附层包括致密层、第一发泡层、第一结网层、第二发泡层、第二结网层和第三发泡层，第一结网层和第二结网层均为氮化石墨材料制成网状结构。本发明解决了现有吸附垫的局部形变大的问题，本发明提出的TFT盲孔抛光的高吸附性的吸附垫及其制备工艺，通过提高第一结网层和第二结网层的整体硬度，因而在对TFT盲孔抛光时，施压到吸附垫的局部位置上，也不会造成吸附垫的局部形变大，保护吸附的TFT屏幕不脱落。
主权项：1.用于TFT盲孔抛光的高吸附性的吸附垫，包括从下至上依次连接的基底层1、连接层2和吸附层3，其特征在于：所述吸附层3包括致密层31、第一发泡层32、第一结网层33、第二发泡层34、第二结网层35和第三发泡层36，第一结网层33和第二结网层35均为氮化石墨材料制成网状结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽禾臣新材料有限公司 用于TFT盲孔抛光的高吸附性的吸附垫及其制备工艺
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