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申请/专利权人:睿励科学仪器(上海)有限公司
摘要:本发明提供一种套刻误差测量装置及方法,该装置包括载物台、物镜、第一分光镜、第一筒镜、用于扫描取图的TDI线扫相机、第二筒镜、用于点对点量测的面阵相机、处理器及载物台控制器,其中,第一分光镜、第一筒镜与TDI线扫相机沿物镜的光轴依次设置,第一分光镜的第一光轴与物镜的光轴重合,第二筒镜与面阵相机沿第一分光镜的第二光轴依次设置,处理器连接TDI线扫相机与面阵相机,用于处理图像及发出控制指令,载物台控制器连接载物台及处理器,用于控制载物台的移动。本发明的套刻误差测量方法采用该装置进行套刻误差测量,可以提高图像信噪比,同时对载物台的点对点运动性能要求降低、对移动速度要求降低,且有利于节省测量时间。
主权项:1.一种套刻误差测量装置,其特征在于,包括:载物台,用于装载晶圆;物镜,位于所述载物台上方;第一分光镜、第一筒镜与用于扫描取图的TDI线扫相机,沿所述物镜的光轴依次设置,所述第一分光镜的第一光轴与所述物镜的光轴重合;第二筒镜与用于点对点量测的面阵相机,沿所述第一分光镜的第二光轴依次设置;处理器,连接所述TDI线扫相机与所述面阵相机,用于处理图像及发出控制指令;载物台控制器,连接所述载物台及所述处理器,用于控制所述载物台的移动。
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