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一种多波长抗霉菌硬质增透膜及其制备方法 

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申请/专利权人:洛阳微米光电技术有限公司

摘要:本发明公开了一种多波长抗霉菌硬质增透膜,包括设置在基体上的多层膜系,多层膜系包括功能性膜层和保护膜结构层,其中,功能性膜层由硫化锌和氟化镱交替组成;保护膜层由氧化铝组成。本发明的增透膜有效口径内均可承受红外激光直径40mm,平均功率密度30Wcm2以及高重频激光峰值功率密度2KWcm2及高重频激光峰值功率密度2KWcm2(脉宽50ns,重频10KHZ)冲击而不受损伤。

主权项:1.一种多波长抗霉菌硬质增透膜,包括设置在基体上的多层膜系,其特征在于:多层膜系包括功能性膜层和保护膜结构层,其中,功能性膜层由硫化锌和氟化镱交替组成;保护膜层由氧化铝组成。

全文数据:

权利要求:

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