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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十四研究所
摘要：本发明涉及芯片测试领域，具体涉及一种三轴独立固定华夫盒结构装置；包括圆形底座、XY轴固定结构和Z轴真空吸附结构；所述圆形底座上表面设有圆形凹槽；所述圆形凹槽的上部开有贯通的吸头孔，所述圆形凹槽的中下部设有底槽；所述XY轴固定结构位于底槽内；所述Z轴真空吸附结构位于圆形底座下表面；本发明所提供装置消除了在装入华夫盒时人工放置未对准和捏合情况，解决了夹持华夫盒的稳定性问题。
主权项：1.一种三轴独立固定华夫盒结构装置，其特征在于，包括圆形底座，所述圆形底座上表面设有圆形凹槽；所述圆形凹槽的上部开有贯通的吸头孔，所述圆形凹槽的中下部还设有底槽；所述底槽内并排放置有左部XY轴固定结构和右部XY轴固定结构；所述圆形底座下表面设置有Z轴真空吸附结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第四十四研究所 一种三轴独立固定华夫盒结构装置
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