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申请/专利权人：安集微电子科技(上海)股份有限公司
摘要：本发明提供了一种氧化铈的表面处理方法，包括S1：将第一添加剂加入去离子水中，搅拌均匀后，加入氧化铈颗粒，然后将溶液转移至超声槽中，超声分散10‑90min，至氧化铈颗粒分散均匀；S2：向上述分散液中添加第二添加剂，搅拌均匀后转移至超声槽中，超声分散30‑180min，至氧化铈颗粒分散均匀。通过加入含阳离子的聚合物分子，通过电荷吸引，达成聚合离子对，实现对氧化铈表面的双层包覆，双层包覆的氧化铈颗粒具有高的抛光速率和平坦化效率，远远高于传统的以氧化硅为研磨颗粒的碱性ILD抛光液。
主权项：1.一种氧化铈的表面处理方法，其特征在于，包括：S1：将第一添加剂加入去离子水中，搅拌均匀后，加入氧化铈颗粒，然后将溶液转移至超声槽中，超声分散10-90min，至氧化铈颗粒分散均匀，形成第一分散液；S2：向所述第一分散液中添加第二添加剂，搅拌均匀后转移至超声槽中，超声分散30-180min，至氧化铈颗粒分散均匀。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安集微电子科技(上海)股份有限公司 一种氧化铈的表面处理方法、一种氧化铈及其用途
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