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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：具有可增加循环寿命并减少颗粒产生的阀门的系统。实施例可包括第一可移动构件413、第二可移动构件411和第三可移动构件415；第一连杆412_1，412_2，其联接到第一可移动构件和第二可移动构件，使得当第二可移动构件横向移动且第三可移动构件停止时，第一连杆对第一可移动构件施加力，该力使得第一可移动构件朝向表面409移动并压靠在该表面上以形成真空密封；以及第二连杆412_3，其联接到第一可移动构件和第三可移动构件，使得当第一连杆导致第一可移动构件移动时，第二连杆对第一可移动构件施加力，该力限制第一可移动构件的移动，使得第一可移动构件以有限的偏移朝向表面移动。
主权项：1.一种检查系统，包括：腔室；阀门，被配置为密封所述腔室以提供真空环境，所述阀门包括：第一可移动构件、第二可移动构件和第三可移动构件；第一连杆，联接到所述第一可移动构件和所述第二可移动构件，使得当所述第二可移动构件横向移动并且所述第三可移动构件停止时，所述第一连杆对所述第一可移动构件施加力，所述力使得所述第一可移动构件朝向表面移动并且压靠在所述表面上以形成真空密封；以及第二连杆，联接到所述第一可移动构件和所述第三可移动构件，使得当所述第一连杆导致所述第一可移动构件移动时，所述第二连杆对所述第一可移动构件施加力，所述力限制所述第一可移动构件的移动，使得所述第一可移动构件以有限的偏移朝向所述表面移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 减少颗粒产生并增加循环寿命的阀门
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