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物品传送装置和物品传送方法 

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申请/专利权人:细美事有限公司

摘要:本发明公开了一种物品传送装置和物品传送方法,该物品传送装置包括:主轨道,该主轨道沿基板生产线的顶棚设置,用于处理基板的工艺模块布置在基板生产线中;主传送车辆,该主传送车辆沿主轨道移动、并且用于将含有基板的容器装载到工艺模块并将含有基板的容器从工艺模块卸载;副轨道,该副轨道安装在与工艺模块的上部相对应的顶棚上;以及副传送车辆,该副传送车辆沿副轨道移动、并且专用于在工艺模块的第一装载部分与第二装载部分之间装载和卸载容器。

主权项:1.一种物品传送装置,所述物品传送装置包括:主轨道,所述主轨道沿基板生产线的顶棚设置,用于处理基板的工艺模块布置在所述基板生产线中;主传送车辆,所述主传送车辆沿所述主轨道移动、并且用于将含有基板的容器装载到所述工艺模块并将所述含有基板的容器从所述工艺模块卸载;副轨道,所述副轨道安装在与所述工艺模块的上部相对应的顶棚上;以及副传送车辆,所述副传送车辆沿所述副轨道移动、并且专用于在所述工艺模块的第一装载部分与第二装载部分之间装载和卸载容器。

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权利要求:

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