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申请/专利权人：电子科技大学

摘要：本发明涉及一种基于光腔衰荡技术测量球面高反射光学元件小区域内反射率均匀性的方法，包括以下步骤：一束激光光束耦合进入到稳定的光学谐振腔，采用光腔衰荡技术，先测量初始光学谐振腔从输出腔镜透射的输出衰荡信号，按单指数拟合得到初始光学谐振腔的衰荡时间。将待测球面高反射光学元件安装于二维电控平移台上，将待测球面高反射光学元件加入谐振腔中，调节谐振腔，构成稳定折叠测试光学谐振腔。通过探测从输出腔镜透射的输出衰荡信号并拟合得到衰荡时间，经过计算得到球面高反射光学元件单点的反射率；通过CCD相机监测光腔输出激光模式，辅助小区域扫描范围的确定，设置扫描范围和扫描步长，利用二维平移台带动球面高反射元件运动，令激光束照射在元件的不同点上，在每一个点进行衰荡信号采集、拟合和计算，得到各点反射率。该方法无需建立多维运动控制系统，能够实现被测球面高反射元件小区域内反射率均匀性的测量。

主权项：1.一种基于光腔衰荡技术测量球面高反射光学元件小区域内反射率均匀性的方法，其实现步骤如下：步骤1、将一束激光注入到稳定的初始光学谐振腔，所述初始光学谐振腔为由一块平面耦合镜和两块相同的平凹高反射镜构成的“V”型折叠腔，腔长为L0，探测光束从耦合镜注入谐振腔，由平凹高反射输出腔镜输出，输出的光腔衰荡信号由光电探测器测量；将测得的光腔衰荡信号按单指数衰减函数拟合得到初始光学谐振腔的衰荡时间τ0；步骤2、将待测球面元件安装于能够在竖直平面内运动的二维电控平移台上，将待测元件与平移台的组合按照待测元件的入射角插入初始光学谐振腔，控制电控位移台带动球面元件移动到待测位置，定义该点为待测区域中心点o，移动另一块平凹高反射腔镜，构成测试光学谐振腔，腔长为L1，调节该平凹腔镜的俯仰和偏摆角度令光腔衰荡信号幅值达到最大，将探测器测得的光腔衰荡信号按单指数衰减函数拟合得到测试光学谐振腔的衰荡时间τ1，计算得到待测球面高反射光学元件反射率同时用CCD相机观察光腔输出激光模式为TEM00模；步骤3、控制电动位移台沿着水平、竖直方向运动，同时观察CCD采集的腔镜上的光斑图像，以光腔输出模式作为球面扫描范围大小的判据，沿着水平方向移动位移台时刚好出现高阶模的临界距离设为d1，沿着竖直方向移动位移台时刚好出现高阶模的临界距离定义为d2，取d1和d2较小者为扫描半径d，根据实际分辨率要求设置扫描步长，对球面镜以o为圆心、d为半径的区域进行逐点反射率扫描测量，得到反射率均匀性分布图像。

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