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申请/专利权人:TES股份有限公司
摘要:本发明涉及一种绝缘环组件以及基板处理装置,更详细地,涉及一种在执行针对基板的工艺的情况下可以减少基板的边缘和中央部的消光系数K的偏差的绝缘环组件以及基板处理装置。所述绝缘环组件具备:绝缘环主体,在内侧的至少一部分形成有凸台部;以及一个以上的结合板,以能够装拆的方式连接在所述凸台部。
主权项:1.一种绝缘环组件,其特征在于,具备:绝缘环主体,在内侧的至少一部分形成有凸台部;以及一个以上的结合板,以能够装拆的方式连接在所述凸台部。
全文数据:
权利要求:
百度查询: TES股份有限公司 绝缘环组件以及基板处理装置
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