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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种既能避免过度降低生产效率，又能避免在冷却部的冷却面过度蓄积液态溶剂的减压干燥装置及减压干燥方法。减压干燥装置1用于使涂敷于基板9的上表面的涂敷膜90干燥。腔室10容纳基板。支撑部20在腔室10内支撑基板。冷却部40对与支撑部20所支撑的基板的上表面相对的冷却面40a进行冷却。减压机构30从腔室吸引气体，使腔室10内的压力降低。供气机构60向腔室10内供给气体，使腔室10内的压力上升。控制部80控制供气机构60，以在从供气机构60向处于减压状态的腔室10内供给规定量的气体之后，从供气机构60供给使腔室10内的压力成为大气压的量的气体。
主权项：1.一种减压干燥装置，使涂敷于基板的上表面的涂敷膜干燥，其中，具备：腔室，容纳所述基板；支撑部，在所述腔室内支撑所述基板；冷却部，对与所述支撑部所支撑的所述基板的所述上表面相对的冷却面进行冷却；减压机构，从所述腔室吸引气体，使所述腔室内的压力降低；供气机构，向所述腔室内供给气体，使所述腔室内的压力上升；以及控制部，控制所述供气机构，以在从所述供气机构向处于减压状态的所述腔室内供给规定量的气体之后，从所述供气机构供给使所述腔室内的压力成为大气压的量的气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 减压干燥装置及减压干燥方法
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