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申请/专利权人：北京大学东莞光电研究院
摘要：本发明公开了一种晶体生长装置及方法，生长装置包括具有中空内腔的反应釜，反应釜包括生长段和解离段；其中，反应釜具有第一位姿、第二位姿和第三位姿，反应釜可受驱在第一位姿、第二位姿和第三位姿之间旋转切换；当反应釜位于第一位姿时，生长段处于直立状态，使解离腔内的熔体与生长腔内的籽晶分离；当反应釜倾斜至第二位姿时，解离腔内的内容物能够倾倒至流入生长腔中；当反应釜倾斜至第三位姿时，生长段内的内容物能够倾倒至流入解离腔中。本发明将氮元素的解离与生长过程彻底分离，有效解决了初始成核表面不平整的问题，同时能够解决由于蓝宝石与氮化镓单晶之间晶格失配导致的破裂问题，从而有效改善了生长所得的氮化镓单晶的质量。
主权项：1.一种晶体生长装置，其特征在于，包括具有中空内腔的反应釜，所述反应釜包括：生长段，所述生长段内设有生长腔，所述生长腔的底部设有用于固定籽晶的固定槽；解离段，所述生长段与所述解离段相交，所述解离段内设有用于容纳熔体的解离腔，所述解离腔与所述生长腔连通为所述中空内腔的一部分；进气口，用于向所述中空内腔通入氮气；其中，所述反应釜具有第一位姿、第二位姿和第三位姿，所述反应釜可受驱在所述第一位姿、第二位姿和第三位姿之间旋转切换；当所述反应釜位于第一位姿时，所述生长段处于直立状态，使所述解离腔内的熔体与所述生长腔内的籽晶分离；当所述反应釜倾斜至第二位姿时，所述解离腔内的内容物能够倾倒至流入所述生长腔中；当所述反应釜倾斜至第三位姿时，所述生长段内的内容物能够倾倒至流入所述解离腔中。
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百度查询： 北京大学东莞光电研究院 一种晶体生长装置及方法
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