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具有高平面外灵敏度的磁阻元件 

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申请/专利权人:阿莱戈微系统有限责任公司

摘要:本公开涉及一种磁阻元件,其包括:具有平面外定向的参考磁化210的参考层21;具有感测磁化230的感测层23,所述感测磁化230包括在存在外部磁场60的情况下稳定的涡旋配置,并且当所述外部磁场60在平面外方向上变化时,所述感测磁化230可相对于所述参考磁化在平面外方向上可逆地移动;以及在所述参考层与所述感测层之间的隧道势垒层22。所述感测层具有小于200纳米的厚度。所述感测层23包括铁磁材料,所述铁磁材料被配置成使得感测磁化在300和1400emucm3之间,并且使得所述感测层23具有大于1kOe79.6×103Am的垂直磁各向异性场。本公开进一步涉及包括多个磁阻元件的磁阻传感器。

主权项:1.磁阻元件,包括:具有平面外定向的参考磁化210的参考层21;具有感测磁化230的感测层23,所述感测磁化230包括在存在外部磁场60的情况下稳定的涡旋配置,当所述外部磁场60在平面外方向上变化时,所述感测磁化230可相对于所述参考磁化210在平面外方向上可逆地移动;以及在所述参考层21与所述感测层23之间的隧道势垒层22;其特征在于,所述感测层23具有小于200纳米的厚度;所述感测层23包括铁磁材料,所述铁磁材料被配置成使得所述感测磁化230在300和1400emucm3之间;以及使得所述感测层23具有大于79.6×103Am的垂直磁各向异性场HPMA。

全文数据:

权利要求:

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