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电容器结构 

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申请/专利权人:瑞昱半导体股份有限公司

摘要:一种电容器结构包含一第一金属结构、一第二金属结构以及一介电材料。第二金属结构设置于第一金属结构下。第一金属结构以及第二金属结构各包含至少三导电部件。这些导电部件为鱼骨状。介电材料设置于第一金属结构的多个间隙中、第二金属结构的多个间隙中以及第一金属结构与第二金属结构之间。

主权项:1.一种电容器结构,包含:一第一金属结构;一第二金属结构,设置于该第一金属结构下,其中该第一金属结构以及该第二金属结构各包含至少三个导电部件,且所述导电部件为鱼骨状;以及一介电材料,设置于该第一金属结构的多个间隙中、该第二金属结构的多个间隙中以及该第一金属结构与该第二金属结构之间,其中,该第二金属结构的该导电部件中的两个导电部件中的每一个包括一主干部和多个支干部,该多个支干部朝向该主干部的两个相对侧延伸,该主干部连接到一晶体管的一氧化定义结构,且连接位置位于该晶体管的多晶硅结构两侧的部分;其中,该第一金属结构的该导电部件按序包括接收一第一电源电压的第一导电部件、接收一地电压的第二导电部件和接收一第二电源电压的第三导电部件,其中,该第一电源电压为一正电压,该第二电源电压为一负电压,其中,该第二金属结构的该导电部件按序包括接收该第一电源电压的第四导电部件、接收该地电压的第五导电部件和接收该第二电源电压的第六导电部件,其中,在接收该正电压的该第一导电部件和接收该正电压的该第四导电部件之间的整个重叠区域中不存在连接通孔。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 瑞昱半导体股份有限公司 电容器结构

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