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申请/专利权人：北京工业大学
摘要：一种基于二氧化钒纳米线的环形腔光调制器，属于光调制器技术领域。包括以下结构：在直波导的一侧为跑道型谐振腔，在直波导的另一侧复合有一层二氧化钒纳米膜，二氧化钒纳米膜的位置位于对应的耦合区域；进一步二氧化钒纳米膜沿直波导长度方向的尺寸不大于耦合区域对应的尺寸。本发明相变响应可以达到亚ps量级，能够在ps量级驰豫回半导体相。
主权项：1.一种基于二氧化钒纳米线的环形腔光调制器的方法，其特征在于，包括以下结构：在直波导的一侧为跑道型谐振腔，在直波导的另一侧复合有一层二氧化钒纳米膜，二氧化钒纳米膜的位置位于对应的耦合区域；进一步二氧化钒纳米膜沿直波导长度方向的尺寸不大于耦合区域对应的尺寸；直波导和跑道型谐振腔采用的为Si，跑道型谐振腔与直波导相邻的一侧的直线部分与直波导平行有间距；包括以下步骤：1利用电子束曝光工艺加工跑道谐振腔的掩膜版；2利用感应耦合等离子体刻蚀技术，通过等离子体与被刻蚀样品的化学和物理反应来刻蚀硅，形成跑道型谐振腔结构；3利用磁控溅射镀膜技术，在碳纳米管上沉积一层二氧化钒，将二氧化钒纳米线转移至跑道型谐振腔耦合区域部分对应的直波导另一侧上，利用外接电极进行电加热相变。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京工业大学 一种基于二氧化钒纳米线的环形腔光调制器
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