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申请/专利权人：应用材料以色列公司
摘要：一种评估样品区域的方法，该样品区域包括两个或更多个彼此相邻且具有不同铣削速率的子区域。该方法可包括：在单个扫描框架期间在该区域之上扫描聚焦离子束，以使得离子束以第一扫描速率在该区域的具有第一铣削速率的第一子区域之上扫描，随后以第二扫描速率在该区域的具有第二铣削速率的第二子区域之上扫描，其中第二铣削速率比第一铣削速率更快，而第二扫描速率比第一扫描速率更快；和重复扫描工艺多次以将该区域蚀刻到期望的深度。
主权项：1.一种评估样品的区域的方法，所述样品的所述区域包括具有第一铣削速率的第一子区域，和与所述第一子区域相邻的具有不同于所述第一铣削速率的第二铣削速率的第二子区域，所述方法包括以下步骤：借由在所述区域之上多次迭代扫描聚焦离子束来铣削所述区域，以将所述区域蚀刻到期望深度，其中每次所述聚焦离子束在所述区域之上被扫描时，所述束以第一扫描速率在所述第一子区域之上被扫描，且随后所述束以不同于所述第一扫描速率的第二扫描速率在所述第二子区域之上被扫描，其中选择所述第一扫描速率和所述第二扫描速率，以使得所述铣削步骤在所述多次迭代中将所述第一子区域和所述第二子区域蚀刻到相同的所述期望深度，其中在每次迭代中所述区域的铣削量实质均匀。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料以色列公司 评估样品的区域的方法及系统
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