申请/专利权人：苏州知芯传感技术有限公司

申请日：2019-09-20

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN110568611B

主分类号：G02B26/08

分类号：G02B26/08;G02B26/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2020.01.07#实质审查的生效;2019.12.13#公开

摘要：本发明涉及一种双向驱动微镜芯片及制造方法，克服现有技术中采用两层梳齿结构，只能单向驱动，使得微镜受力不对称、无法完全绕中心轴转动的问题，应用全新设计结构，拥有上中下三层梳齿结构，为微镜提供双向驱动力，使得被驱动对象的受力完全对称，获得更加优良的微镜扫描效果。

主权项：1.一种双向驱动微镜芯片，其特征在于：包括衬底（1）、镜面支撑（2）、转轴（3）、两组下驱动装置和至少两组上驱动装置，其中，衬底（1）为SOI硅片材料制成的环形结构，且衬底（1）的各部位共面；镜面支撑（2）上彼此相对的两侧边位置分别通过转轴（3）、活动对接衬底（1）环形结构的内侧边，镜面支撑（2）以转轴（3）所在直线为轴自由转动；两组下驱动装置分别与镜面支撑（2）上位于转轴（3）所在直线两侧、且彼此相对的两侧边一一对应，两组下驱动装置彼此结构相同，各组下驱动装置分别均包括至少一个下驱动本体（4），各个下驱动本体（4）均为SOI硅片材料制成，各个下驱动本体（4）彼此结构相同，各个下驱动本体（4）分别均包括至少一根梳齿；各组下驱动装置中，各下驱动本体（4）中各根梳齿的其中一端分别对接镜面支撑（2）上对应侧边的外侧，各下驱动本体（4）中各梳齿彼此相平行、以及相邻梳齿之间等间距，且各下驱动本体（4）中各根梳齿彼此共面，以及该共面与镜面支撑（2）所在面相共面；两组下驱动装置中的各下驱动本体（4）相对转轴（3）所在直线呈轴对称；上驱动装置的组数与下驱动本体（4）的数目相等，各组上驱动装置的结构彼此相同，各组上驱动装置分别均包括驱动梁（5）、压电驱动装置（6）、主轴（7）、以及对接主轴（7）其中一侧的各根梳齿，各组上驱动装置中，驱动梁（5）与主轴（7）上相对所连各根梳齿的另一侧相连接，各梳齿彼此相平行、以及相邻齿条之间等间距，主轴（7）与其所连各梳齿相共面，压电驱动装置（6）设置于驱动梁（5）的上表面；各组上驱动装置分别与各下驱动本体（4）一一对应，各组上驱动装置中的驱动梁（5）分别对接衬底（1）环形结构的内侧边，且各组上驱动装置中各根梳齿的位置与对应下驱动本体（4）中各根梳齿的位置彼此相对应，以及在垂直于衬底（1）所在面的方向上，各组上驱动装置中各根梳齿的投影分别与对应位置下驱动本体（4）中各根梳齿的投影彼此平行、且彼此相互交错；镜面支撑（2）的上表面设置镜面反射层（8），衬底（1）上表面设置分别与各组上驱动装置、各个下驱动本体（4）一一对应的电极（9），通过向各个电极（9）供电，分别向各根梳齿进行供电、以及分别向对应各组上驱动装置中压电驱动装置（6）施加电压，且对应转轴（3）所在直线的两侧，同侧针对压电驱动装置（6）施加电压的极性相同，以及不同侧针对压电驱动装置（6）施加电压的极性彼此相反；各组上驱动装置中的驱动梁（5）分别在对应压电驱动装置（6）所接受施加电压下产生纵向位移；基于向各根梳齿的供电，各组上驱动装置中各根梳齿与对应位置下驱动本体（4）中各根梳齿之间产生静电力，共同驱动镜面支撑（2）以转轴（3）所在直线为轴转动；各压电驱动装置（6）的结构彼此相同，各压电驱动装置（6）分别均包括由下至上堆叠的电极层、压电驱动材料层、电极层；上驱动装置中驱动梁（5）为直线型结构，驱动梁（5）的中点位置通过连接件（10）与对应主轴（7）上相对所连各根梳齿的另一侧相连接，驱动梁（5）的两端分别对接所述衬底（1）环形结构的内侧边。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州知芯传感技术有限公司 一种双向驱动微镜芯片及制造方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD