买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：芜湖芯通半导体材料有限公司

摘要：本发明提供一种应用于干刻机台技术领域的PICP干刻下电极再生分离及组装设备，本发明还涉及一种PICP干刻下电极再生分离及组装方法，所述的PICP干刻下电极再生分离及组装设备的设备框架1的框架本体18上表面侧边的定位板5上设置定位块6，顶升机构2的机构框架7的机构底板8上的蜗轮蜗杆升降机9与设置在机构底板8上的多个导柱12连接，顶升平台3的每个平台固定座14上分别设置平台杆件15，本发明所述的PICP干刻下电极再生分离及组装设备及其PICP干刻下电极再生分离及组装方法，能够方便快捷自动化实现下电极和基板的分离及重新组合，确保两者相对位置定位可靠，不会造成密封圈损伤。

主权项：1.一种PICP干刻下电极再生分离及组装设备，其特征在于：所述的PICP干刻下电极再生分离及组装设备包括设备框架（1）、顶升机构（2）、顶升平台（3）、辅助部件（4），设备框架（1）包括框架本体（18），框架本体（18）上表面侧边设置定位板（5），定位板（5）上设置定位块（6），顶升机构（2）包括机构框架（7），机构框架（7）的机构底板（8）上表面设置蜗轮蜗杆升降机（9），蜗轮蜗杆升降机（9）通过传动轴（10）与调节摇杆（11）连接，蜗轮蜗杆升降机（9）同时与设置在机构底板（8）上的多个导柱（12）连接，导柱（12）垂直布置，顶升平台（3）包括平台本体（13），平台本体（13）上表面设置多个平台固定座（14），每个平台固定座（14）上分别设置平台杆件（15），辅助部件（4）包括顶升套具（16）、下电极吊具（17）；PICP干刻下电极包括下电极（23）和基板（24）；所述的辅助部件（4）的下电极吊具（17）设置为能够吊运下电极（23）的结构，下电极（23）下表面设置为能够垂直安装顶升套具（16）的结构，顶升套具（16）包括按间隙布置的多个；所述的下电极（23）下表面垂直安装顶升套具（16）时，顶升套具（16）设置为与顶升平台（3）的平台杆件（15）数量和位置一一对应的结构，顶升平台（3）布置在下电极（23）下方时，每个顶升套具（16）设置为能够套装在一个平台杆件（15）上端的结构；所述的顶升机构（2）的机构框架（7）的机构底板（8）上设置多个直线轴承（25），每个导柱（12）穿过一个直线轴承（25），顶升平台（3）的平台杆件（15）上端设置橡胶块（26）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芜湖芯通半导体材料有限公司 PICP干刻下电极再生分离及组装设备及其分离及组装方法