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申请/专利权人：广州市艾佛光通科技有限公司

摘要：本发明涉及曝光处理技术领域，具体公开了一种光刻板传送装备及传送方法，其中，光刻板传送装备包括：光刻板台；机械臂；光刻板寄存装置，安装在机械臂末端，用于从光刻板台中提取多个待使用的光刻板；转送装置，用于从光刻板寄存装置提取光刻板，并将光刻板转送至曝光装置中；卸板装置，用于从曝光装置获取光刻板；光刻板传送装备在机械臂末端集成了具有寄存多个光刻板功能的光刻板寄存装置，能根据工艺需求将接下来曝光处理需要用到的多个光刻板从光刻板台中一次性地提取并临时寄存在光刻板寄存装置，以对曝光装置进行快速、连续换板，在有效提高了曝光处理的效率的同时也降低了光刻板表面出现污染的风险。

主权项：1.一种光刻板传送装备，用于传送光刻板，其特征在于，包括：光刻板台（6），用于存放光刻板；机械臂（1）；光刻板寄存装置（2），安装在所述机械臂（1）末端，用于从所述光刻板台（6）中提取多个待使用的光刻板；转送装置（3），用于从所述光刻板寄存装置（2）提取光刻板，并将所述光刻板转送至曝光装置（7）中；卸板装置（4），用于从所述曝光装置（7）获取光刻板；控制器（5），用于控制所述机械臂（1）移动所述光刻板寄存装置（2）至所述光刻板台（6）一侧，以使所述光刻板寄存装置（2）根据工艺需求从所述光刻板台（6）中提取多个待使用的光刻板，还用于控制所述机械臂（1）移动所述光刻板寄存装置（2）至所述转送装置（3）及所述卸板装置（4）一侧，控制所述光刻板寄存装置（2）将所述光刻板逐个送入所述转送装置（3）以进行曝光处理，并从所述卸板装置（4）内接取完成曝光处理的光刻板；所述转送装置（3）包括：夹持组件（31），用于逐个对准夹持所述光刻板寄存装置（2）送入的光刻板；装载滑块组件（32），用于配合所述夹持组件（31）将所述夹持组件（31）夹持的光刻板送入所述曝光装置（7）；所述光刻板寄存装置（2）包括：寄存盘（21），通过转动组件（22）安装在所述机械臂（1）末端上，其上具有多个圆周阵列的用于寄存光刻板的寄存槽（211）；所述转动组件（22），用于驱动所述寄存盘（21）转动；抓取组件（23），安装在所述机械臂（1）末端上，用于提取光刻板至所述寄存盘（21）上或抓取所述寄存盘（21）上光刻板；所述抓取组件（23）包括：抓取机构（231），用于抓取所述光刻板；平移机构（232），安装在所述机械臂（1）末端上，用于驱动所述抓取机构（231）水平移动；所述抓取机构（231）底部具有卡块（233），所述寄存盘（21）上具有多个能与所述卡块（233）滑动配合、且为圆周阵列的开口槽（212）。

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