申请/专利权人：浙江工业大学

申请日：2020-04-15

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN111347355B

主分类号：B24D7/00

分类号：B24D7/00;B24D7/16;B24D7/10;B24D18/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2020.07.24#实质审查的生效;2020.06.30#公开

摘要：本发明公开了自修式液态金属研磨盘及其制备方法，包括旋转驱动底座、研磨盘、直线进给装置、储液槽、抽液泵、抽液管道、喷液管道和喷液喷头，所述研磨盘安装在旋转驱动底座上方，直线进给装置设置在研磨盘的一侧，所述喷液喷头设置在研磨盘的上方，直线进给装置工作时带动喷液喷头沿着研磨盘的一条半径做直线往复运动，抽液泵利用抽液管道将储液槽中的液态金属抛光液抽出，并通过喷液管道送入喷液喷头的喷出，由喷液喷头喷到研磨盘的表面；本发明能够在研磨盘上生成液态金属抛光液固化后的抛光层，制作研磨盘的工艺简单，不会对材料产生浪费，磨损的研磨盘也可以回收再次使用，制作出的研磨盘精度更高。

主权项：1.一种自修式液态金属研磨盘，其特征在于：包括旋转驱动底座（1）、研磨盘（2）、直线进给装置（12）、储液槽（4）、抽液泵（3）、抽液管道（13）、喷液管道（14）和喷液喷头（15），所述研磨盘（2）安装在旋转驱动底座（1）上方，直线进给装置（12）设置在研磨盘（2）的一侧，抽液管道（13）、抽液泵（3）、喷液管道（14）、喷液喷头（15）和储液槽（4）均安装在直线进给装置（12）的直线滑块上并随着直线滑块的运动进行直线进给；所述抽液泵（3）的输入端连接抽液管道（13），抽液管道（13）的一端伸入装有液态金属抛光液的储液槽（4）内，抽液泵（3）的输出端连接喷液管道（14）的一端，喷液管道（14）的另一端连接喷液喷头（15）；所述喷液喷头（15）设置在研磨盘（2）的上方，直线进给装置（12）工作时带动喷液喷头（15）沿着研磨盘（2）的一条半径做直线往复运动，抽液泵（3）利用抽液管道（13）将储液槽（4）中的液态金属抛光液抽出，并通过喷液管道（14）送入喷液喷头（15）的喷出，由喷液喷头（15）喷到研磨盘（2）的表面；所述旋转驱动底座（1）包括底部基座（19）、支撑架（16）、旋转轴（20）和旋转电机（6），底部基座（19）内部设置有用于容纳支撑架（16）和旋转电机（6）的空腔，旋转电机（6）通过支撑架（16）固定在所述底部基座（19）内部，旋转电机（6）的输出轴连接竖直设置的旋转轴（20）的下端，旋转轴（20）的上端穿过底部基座（19）的上表面并连接水平设置研磨盘（2）的底部；所述研磨盘（2）整体呈圆柱状，研磨盘（2）包括带底的圆柱状外壳（17）和从上至下依次设置在圆柱状外壳（17）内部的研磨层、电极层、导热层、制冷层和加热层，所述圆柱状外壳（17）的底部连接旋转轴（20）的上端，且旋转轴（20）上固定有平面轴承（5），平面轴承（5）设置在圆柱状外壳（17）的下表面和底部基座（19）的上表面之间；所述研磨层、电极层、导热层、制冷层和加热层之间分别通过隔板（18）隔开，所述研磨层的上表面呈开口凹槽状，开口凹槽的侧面设置有均布的横向凸起，开口凹槽的底部均布纵向凸起（11）；所述电极层设置在研磨层下方，所述电极层内设置有电极组（10），所述电极组（10）包括带有正电极的扇形正电极和带有负电极的扇形负电极，扇形正电极和扇形负电极的数量相等，扇形正电极和扇形负电极依次交替分布组成整个电极组（10）；所述导热层设置在电极层下方，所述导热层内注满导热性能良好的导热液（9）；所述制冷层设置在导热层下方，所述制冷层内部设置有制冷装置（8），所述制冷层侧面的研磨盘（2）的圆柱状外壳（17）上设置有制冷装置（8）的散热管出口；所述加热层设置在制冷层的下方，加热层内部设置有电热丝（7），电热丝（7）呈蚊香盘状固定在加热层内部，所述加热层和制冷层之间的隔板（18）上设置有用于散热的散热孔。

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