龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：杭州新诺微电子有限公司
申请日：2021-11-02
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN114089604B
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2022.03.15#实质审查的生效;2022.02.25#公开
摘要：本发明涉及一种阵列图形绘制方法，属于光刻技术领域，它解决了现有技术中图形绘制速度慢的问题。本阵列图形绘制方法，包含如下步骤，S1；读取矢量图文件；S2、将矢量图文件二值化；S3、提取图形中的轮廓；S4、将提取的轮廓与模板库中的轮廓进行匹配；S5、将匹配后的模板进行单元分组并记录各单元位置；S6、对单元分组图形进行精细化绘制；S7、将精细化绘制后的单元分组图形填充至步骤S5中记录的对应位置。本发明通过对矢量图进行处理，实现矢量图中单元阵列图形的提取，并对单元分组图形进行精细化绘制后，通过平移填充的方式恢复成光刻机可识别的位图，供光刻机曝光，利用本方法可大大节约绘图时间。
主权项：1.一种阵列图形绘制方法，包含如下步骤：S1；读取矢量图文件；S2、将矢量图文件二值化；S3、提取图形中的轮廓；S4、将提取的轮廓与模板库中的轮廓进行匹配；S5、将匹配后的模板进行单元分组并记录各单元位置；S6、对单元分组图形进行精细化绘制；S7、将精细化绘制后的单元分组图形填充至步骤S5中记录的对应位置；所述的步骤S1中，读取的矢量图为Gerber文件；本绘制方法还包括步骤S8,将步骤S4中未分组的图形精细化绘制，形成完整的位图文件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州新诺微电子有限公司 一种阵列图形绘制方法及系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号