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申请/专利权人：广州市艾佛光通科技有限公司
摘要：本发明提供了一种体声波谐振器设计方法、体声波谐振器及体声波滤波器，涉及体声波谐振器技术领域。该体声波谐振器设计方法包括步骤：利用ADS软件构建种子层等效电路、上电极层等效电路、下电极层等效电路和保护层等效电路；基于Mason模型的等效公式构建压电层等效电路；在压电层等效电路中设置寄生阻抗单元；寄生阻抗单元的阻值能够随谐振频率变化而变化且用于拟合串联谐振频率以下的寄生影响；通过对应的声学端口依次连接各层等效电路得到体声波谐振器。本发明的体声波谐振器设计方法能够改善传统Mason模型因寄生效应导致所设计的体声波谐振器和体声波滤波器拟合偏离较大的问题。
主权项：1.一种体声波谐振器设计方法，其特征在于，包括步骤：S1.利用ADS软件构建种子层等效电路、上电极层等效电路、下电极层等效电路和保护层等效电路；S2.基于Mason模型的等效公式构建压电层等效电路；所述等效公式具体为： ；其中，为所述压电层等效电路的等效电路阻抗，表示虚数单位，为角速度，为所述体声波谐振器的静态电容值，为声波传输时的相位，为所述体声波谐振器的有效机电耦合系数，为压电材料的输入阻抗，为所述压电材料上侧的对比于压电阻抗的归一化负载阻抗，为所述压电材料下侧的对比于压电阻抗的归一化负载阻抗；S3.在所述压电层等效电路中设置寄生阻抗单元；所述寄生阻抗单元的阻值能够随谐振频率变化而变化且用于拟合串联谐振频率以下的寄生影响；所述寄生阻抗单元的阻值根据以下公式计算得到： ；其中，为所述谐振频率，为所述寄生阻抗单元在所述谐振频率下的阻值，为所述串联谐振频率，为基于所述Mason模型得到的S参数的实部，为所述体声波谐振器经流片验证后得到的S参数的实部；S4.通过对应的声学端口依次连接所述种子层等效电路、所述上电极层等效电路、所述压电层等效电路、所述下电极层等效电路和所述保护层等效电路，得到体声波谐振器。
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百度查询： 广州市艾佛光通科技有限公司 体声波谐振器设计方法、体声波谐振器及体声波滤波器
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