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申请/专利权人：新东工业株式会社
摘要：本发明提供一种四氢硼酸盐的制造装置，具备：反应容器，其在内部产生氢等离子体；试样台，其设置于上述反应容器内，供硼酸盐载置；以及氢离子遮挡部件，其设置为覆盖被载置的上述硼酸盐的至少一部分。
主权项：1.一种四氢硼酸盐的制造装置，其特征在于，具备：反应容器，所述反应容器在内部产生氢等离子体；试样台，所述试样台设置于所述反应容器内，供硼酸盐载置；以及氢离子遮挡部件，所述氢离子遮挡部件设置于等离子体源与所述硼酸盐之间，以便覆盖被载置的所述硼酸盐的至少一部分，所述氢离子遮挡部件选择性地捕获所述氢等离子体中的氢离子而使所述氢等离子体中的氢自由基透过。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 新东工业株式会社 四氢硼酸盐的制造装置以及四氢硼酸盐的制造方法
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