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申请/专利权人：株式会社村田制作所
摘要：本发明涉及谐振子以及谐振装置。谐振子10具备：振动部110，具有压电膜F3以及中间夹着压电膜F3而对置设置的上部电极E2及下部电极E1；以及质量附加部122A，至少设置于振动部110中的位移相对较大的位置，质量附加部122A具有以在剖视振动部110时中央部至少比任意的端部薄的方式倾斜的倾斜面。
主权项：1.一种谐振子，具备：振动部，具有压电膜以及上部电极及下部电极，所述上部电极及下部电极以中间夹着所述压电膜而对置设置；以及质量附加部，至少设置于所述振动部中的位移相对较大的位置，所述质量附加部具有以在剖视所述振动部时中央部至少比任意的端部薄的方式倾斜的倾斜面，在贯通电极上有质量附加膜，该质量附加膜的厚度比所述质量附加部的中央部厚。
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