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传感器元件 

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申请/专利权人:日本碍子株式会社

摘要:本发明提供一种气体传感器,其能够抑制测定灵敏度随着经时使用而变差。对被测定气体中的NOx的浓度进行测定的极限电流型的气体传感器的传感器元件中,内侧泵电极设置为面对在规定的扩散阻力下与供被测定气体从外部空间导入的气体导入口连通的第一内部空腔,且该内侧泵电极由Pt‑Au合金与氧化锆的金属陶瓷形成,内侧泵电极的形成面至少包含区划形成第一内部空腔的面中的在元件厚度方向上距加热器部最远的面,且不含在厚度方向上距加热器部最近的面。

主权项:1.一种传感器元件,其是具有含有氧离子传导性的固体电解质的基体部、且对被测定气体中的NOx浓度进行测定的极限电流型的气体传感器的传感器元件,其特征在于,所述传感器元件具有:气体导入口,被测定气体从外部空间导入至该气体导入口;第一内部空腔,该第一内部空腔在规定的扩散阻力下与所述气体导入口连通;主泵单元,该主泵单元是构成为包括内侧泵电极、空腔外泵电极、以及存在于所述内侧泵电极与所述空腔外泵电极之间的所述固体电解质的电化学泵单元,所述内侧泵电极设置为面对所述第一内部空腔,所述空腔外泵电极设置为面对所述第一内部空腔以外的空间;测定电极,该测定电极配置于所述传感器元件的内部,且在与所述第一内部空腔之间具有至少1个扩散速度控制部;基准电极,该基准电极设置为在所述传感器元件的内部能够与基准气体接触;测定泵单元,该测定泵单元是构成为包括所述测定电极、所述空腔外泵电极、以及存在于所述测定电极与所述空腔外泵电极之间的所述固体电解质的电化学泵单元;以及加热器部,该加热器部埋设于所述传感器元件的内部,用于对所述传感器元件进行加热,所述内侧泵电极至少由Pt-Au合金与氧化锆的金属陶瓷形成,具备所述内侧泵电极的面至少包含区划形成所述第一内部空腔的面中的、在所述传感器元件的厚度方向上距所述加热器部最远的面,且不含在所述厚度方向上距所述加热器部最近的面,在所述气体导入口与所述第一内部空腔之间具备由与所述第一内部空腔连通的一对狭缝构成的不同的扩散速度控制部,所述一对狭缝中,在所述厚度方向上远离所述加热器部的那侧的第一狭缝处的扩散阻力大于靠近所述加热器部的那侧的第二狭缝处的扩散阻力。

全文数据:

权利要求:

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