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申请/专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日：2021-12-24
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN114337361B
主分类号：H02N2/04
分类号：H02N2/04;H02N2/12;G02B21/26
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2022.04.29#实质审查的生效;2022.04.12#公开
摘要：本发明提供了压电促动模块及压电摆台，压电促动模块包括第一驱动机构和第二驱动机构，第一驱动机构包括第一压电单元和第一柔性铰链，第一压电单元和第一柔性铰链连接，以驱动第一柔性铰链沿第一方向伸缩，第二驱动机构包括第二压电单元和第二柔性铰链，第二柔性铰链与第一柔性铰链连接，第二压电单元和第二柔性铰链连接，以驱动第二柔性铰链和第一驱动机构均沿与第一方向垂直的第二方向伸缩，第一柔性铰链被配置为在沿第一方向和或第二方向伸缩时接触并促使被驱动对象运动。在本发明中，压电促动模块可使被驱动对象进行两个方向的直线运动或转动，可提高压电摆台的转动速度和可重复性，避免出现粘滑运动，抑制了颗粒，提高压电摆台的使用寿命。
主权项：1.一种压电促动模块，其特征在于，包括：第一驱动机构和第二驱动机构，所述第一驱动机构包括第一压电单元和第一柔性铰链，所述第一压电单元和第一柔性铰链连接，以驱动所述第一柔性铰链沿第一方向伸缩，所述第二驱动机构包括第二压电单元和第二柔性铰链，所述第二柔性铰链与第一柔性铰链连接，所述第二压电单元和第二柔性铰链连接，以驱动所述第二柔性铰链和第一驱动机构均沿与第一方向垂直的第二方向伸缩，所述第一柔性铰链被配置为在沿第一方向和或第二方向伸缩时接触并促使被驱动对象运动，所述第二方向为被驱动对象的一周向切线方向，所述第一方向与第二方向垂直；所述第一柔性铰链包括平行四边形铰链对，所述平行四边形铰链对包括相对于第一方向呈对称分布的两个平行四边形铰链，所述两个平行四边形铰链之间的第一连接部被配置为接触并促使被驱动对象运动，所述第一连接部上形成第一柔性铰链的第一输入端和第一输出端，所述第一压电单元与第一输入端连接，以驱动所述第一输出端沿第一方向伸缩。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海精测半导体技术有限公司 一种压电促动模块及压电摆台
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