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申请/专利权人：苏州高芯众科半导体有限公司
申请日：2024-04-03
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN117985949B
主分类号：C03C17/34
分类号：C03C17/34
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2024.05.24#实质审查的生效;2024.05.07#公开
摘要：本申请涉及过渡层喷涂粉领域，具体公开了一种硅钇铝铬镁氧中间相喷涂粉及其制备方法。硅钇铝铬镁氧中间相喷涂粉包括以下成分：氧化钇晶相、钇铬氧化物晶相、钇铝氧化物晶相、镁铝尖晶石相，以及非晶态二氧化硅；喷涂粉的平均粒径为5‑45µm；其制备方法包括：将硝酸铝、硝酸钇、硝酸铬混合溶解，并控制pH值不大于7；向其中加入二氧化硅、氧化镁，再调节pH值为碱性，热处理陈化，过滤得到滤出物，洗涤；将洗涤后的滤出物与水混合后加入粘结剂，分散均匀，在2800‑3500℃下进行高温瓷化，再雾化，即得。本申请的硅钇铝铬镁氧中间相喷涂粉有助于提高氧化钇涂层与玻璃基体的附着强度和氧化钇涂层使用寿命，提高晶圆的刻蚀质量。
主权项：1.一种硅钇铝铬镁氧中间相喷涂粉，其特征在于，包括以下成分：氧化钇晶相、钇铬氧化物晶相、钇铝氧化物晶相、镁铝尖晶石相，以及非晶态二氧化硅；所述喷涂粉的平均粒径为5-45µm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州高芯众科半导体有限公司 一种硅钇铝铬镁氧中间相喷涂粉及其制备方法
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