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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明为研磨装置及研磨部件的修整方法，修整器能够在沿着摆动方向而设定于研磨部件上的多个扫描区域中调整摆动速度，具备以下步骤：在沿着修整器的摆动方向预先设定于研磨部件上的多个监控区域中测定研磨部件的表面高度；创建由监控区域、扫描区域和修整模型定义的修整模型矩阵；使用修整模型和各扫描区域中的摆动速度或停留时间来计算高度轮廓预测值；根据与研磨部件的高度轮廓的目标值的差值来设定评价指标；以及根据评价指标来设定修整器的各扫描区域中的摆动速度，使用于确定高度轮廓的目标值或评价指标的参数中的至少一方自动地变化。
主权项：1.一种研磨部件的修整方法，是在基板的研磨装置所使用的研磨部件上使修整器移动来对该研磨部件进行修整的方法，其特征在于，所述修整器能够在沿着移动方向设定于所述研磨部件上的多个扫描区域中调整移动速度，所述研磨部件的修整方法具备以下步骤：在沿着所述修整器的移动方向预先设定于所述研磨部件上的多个监控区域中测定所述研磨部件的表面高度的步骤；创建由所述多个监控区域和所述多个扫描区域定义的修整模型矩阵的步骤；基于与目标切割量的偏差、与基准方法中的停留时间的偏差、以及相邻的扫描区域间的速度差设定评价指标的评价指标创建步骤，所述与目标切割量的偏差是所述修整器的目标切割量与使用所述修整模型矩阵算出的垫磨损量之差的平方值；以及根据所述评价指标设定所述修整器的各扫描区域中的移动速度的步骤，使用于确定所述目标切割量的参数或用于确定评价指标的参数中的至少一方自动地变化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 研磨装置及研磨部件的修整方法
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