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申请/专利权人：双良硅材料(包头)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种单晶棒端面自动找平机构，包括限位壳体、球轴和支撑盖，所述限位壳体内设置有球轴放置腔室；所述球轴滑动放置于所述球轴放置腔室内；所述球轴放置腔室的腔壁设置为第一球形壁，所述球轴的侧面设置为第二球形壁，所述第一球形壁与所述第二球形壁对应设置；所述球轴的顶面与所述支撑盖连接，所述支撑盖与所述限位壳体的顶面间隔第一距离。本实用新型的单晶棒端面自动找平机构，提高了对单晶棒端部固定的可靠性，保证了单晶棒的垂直度，提高了加工的精度，降低了残次品率。
主权项：1.一种单晶棒端面自动找平机构，其特征在于，包括：限位壳体，所述限位壳体内设置有球轴放置腔室；球轴，所述球轴滑动放置于所述球轴放置腔室内；用于支撑单晶棒的支撑盖；所述球轴放置腔室的腔壁设置为第一球形壁，所述球轴的侧面设置为第二球形壁，所述第一球形壁与所述第二球形壁对应设置；所述球轴的顶面与所述支撑盖连接，所述支撑盖与所述限位壳体的顶面间隔第一距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 双良硅材料(包头)有限公司 一种单晶棒端面自动找平机构
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